• 低档716V DC 10 mA DC 7.2 W 
• 中档720V DC 15 mA DC 10.5W 
• 高档740V DC 40 mA DC 30 W 

• 仪器中包括有一双极旋片泵，2XZ-2，抽气速率为2L/s, 
• 泵上安装有一个不锈钢针阀，其接口为宝塔嘴接头

• 如果基片的直径为2"和4"，可以选购石英架，每个石英架上可以放25片
• 数字式真空显示计，可以精确显示石英腔体内的真空度

可选真空计

 

• 可选本公司生产研发的电阻真空计
• 此款真空计是以Pirani电阻规在不同真空环境下体现的热传导特性为原理而研发的一款低真空测量仪器，特别适应于从常压到0.1Pa非腐蚀性气体环境的真空度测量。